Magyar Tudományos Akadémia
Atommagkutató Intézet

Másodlagos-semlegesrészecske/ion tömegspektrométer (SNMS/SIMS)

Kategória Mérőrendszer
Típus Spect
Szervezeti egység
Eszközfelelős
Üzembentartó MTA Atomki - Debreceni Egyetem
Felhasználás Kutatás, Szolgáltatás
Érték Nagy értékű
Kutatási témák
Kivonat

A másodlagos semleges-részecske/ion tömegspektrométer (SNMS/SIMS) vékonyrétegekben és felületi bevonatokban kialakuló koncentráció-eloszlások nanométeres feloldással történő vizsgálatára nyújt lehetőséget. Alkalmas akár 1-2 nm egyedi rétegvastagságú többrétegű rendszerek, felületi bevonatok összetevői mélységi eloszlásának vizsgálatára, vagy a felülethez képest mélyebben fekvő határrétegek összetételének kutatására. Segítségével vizsgálhatóak a félvezető és polimer rendszerek adalék komponenseinek mélységi eloszlása is.

 

 

Leírás

Rövid leírás

A másodlagos semleges-részecske/ion tömegspektrométer (SNMS/SIMS) vékonyrétegekben és felületi bevonatokban kialakuló koncentráció-eloszlások nanométeres feloldással történő vizsgálatára nyújt lehetőséget. Alkalmas akár 1-2 nm egyedi rétegvastagságú többrétegű rendszerek, felületi bevonatok összetevői mélységi eloszlásának vizsgálatára, vagy a felülethez képest mélyebben fekvő határrétegek összetételének kutatására. Segítségével vizsgálhatóak a félvezető és polimer rendszerek adalék komponenseinek mélységi eloszlása is.

Műszaki paraméterek

Porlasztó gázok Ar, Ne, Kr, Xe
Tipikus porlasztási sebesség ~0,1 nm/s
Ionenergia 100 eV - 2 keV
Tömegspektrométer Balzers QMG 422
Mérhető tömegtartomány 0 - 340 amu
A detektálás alsó határa 1 ppm
Mélységi feloldás 1-2 nm
Mintatartó 600 oC-ig fűthető
  -180 oC-ig hűthető
  x - y irányban mozgatható